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直线电机模组

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FUM定位工作台系列

FUM定位平台采用无槽直线电机及盘式DDR为动力，利用交叉滚子导轨与轴环做导向，内置高分辦率光栅，实现XY0三轴联动。是理想的测量仪器和检测设备的定位机构，可用于诸如半导体/液相关制造设备和清洁环境下的图像对准处理。


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