除渗碳淬火外，
行星减速机齿轮还可采用多种表面硬化工艺，需根据性能需求与成本综合选型。
一是高频感应淬火，通过高频电流加热齿轮表面（加热深度 0.5-2mm），冷却后实现局部硬化，优点是加热速度快（几秒至几十秒）、变形小，适合对齿面硬度要求较高但心部需韧性的齿轮，缺点是渗层较浅，不适用于高负载场景。二是氮碳共渗，在 500-580℃下将氮、碳原子渗入齿轮表面，形成硬度高（HV800-1200）的化合物层，优点是变形极小（几乎无变形）、耐腐蚀性好，适合精密齿轮，但承载能力低于渗碳淬火，多用于轻载、耐腐蚀需求的场景（如食品行业机器人）。
三是渗硼处理，在 800-950℃下将硼原子渗入表面，形成高硬度硼化物层（HV1800-2500），耐磨性极强，但脆性大、易开裂，仅适用于低冲击、高磨损的特殊工况。对比来看，渗碳淬火因渗层深、承载能力强，仍是工业机器人高负载关节齿轮的首选；高频感应淬火适合中等负载的协作机器人齿轮；氮碳共渗则在精密、低负载场景更具优势。
